4月23日，台积电副共同营运长张晓强在公开论坛上表示，该公司目前并不打算采购阿斯麦最新的光刻机，原因在于价格过于昂贵。
据了解，这款光刻机的单台售价超过3.5亿欧元，折合人民币近28亿元，远超行业内现有设备的水平。
张晓强指出，新一代设备“非常贵”，同时他强调，现有的EUV设备仍能满足生产与研发的需求，能够有效地发挥其价值。
这款光刻机是支持1.4nm及以下先进制程的核心装备，其分辨率和制程能力显著优于上一代设备，但相应的成本也大幅攀升。
其价格接近普通EUV设备的1.8倍，超高的定价主要源于其独特的光学组件、复杂的光源系统和长时间的调试周期。此外，全球仅有阿斯麦能够提供此类设备，这进一步推高了终端售价。
尽管台积电并未完全放弃该技术，之前公司已采购少量设备用于研发，但并未用于量产。
公司正在通过优化工艺，降低对新设备的依赖，近期已公布A13与N2U两项新工艺，分别计划在2029年与2028年投产。这些新工艺旨在提升芯片的能效、缩小面积，同时兼顾成本与性能。
作为阿斯麦最大的客户，台积电的采购暂停将影响后者的新设备量产节奏。
阿斯麦原本计划在2027年至2028年大规模生产High-NA EUV，并设定2030年营收目标，如今面临客户期待的挑战。
在台积电资本开支压力较大的情况下，资金优先投向3nm扩产、2nm研发与产能布局。